Способ переключения типа носителя в углеродных алмазоподобных пленках
Открыть
Дата: 2022-07-25
Выходные сведения
Патент № 2791963 Российская Федерация, МПК H01L 21/66 (2006.01), B82Y 35/00 (2011.01). Способ переключения типа носителя в углеродных алмазоподобных пленках : № 2022120559 : заявл. 25.07.2022 : опубл. 14.03.2023 / Плотников В. А., Макаров С. В., Шуткин А. А. ; патентообладатель: Алтайский государственный университет. – 11 с.
Аннотация
Цель изобретения состоит в получении углеродной алмазоподобной пленки с достаточной концентрацией графитоподобных кластеров, формирующих цепочечные структуры проводящих каналов и определение порогового
эффекта переключения типа носителя заряда в проводящем канале углеродной алмазоподобной пленке. Сущность изобретения: сканированием поверхности алмазоподобной пленки проводящим зондом сканирующего зондового
микроскопа в режиме туннельного тока фиксируются проводящие каналы, распределенные по поверхности. Выбираются
локальные проводящие каналы путем построения их вольт-амперных зависимостей, отвечающие необходимым свойствам, например скорости переключения типа носителя заряда. 5 ил.